CF设备主要用于6代线彩色滤光片基板的搬运。结构设计精确,技术先进,设备配置精细,可靠性高,控制系统具有精度高,可靠性好和快速反应的特点。主要包含自动物料搬运系统、卡匣、机器人和传送带系统。

自动物料搬运系统(AMHS)-CF
设备描述:

在CF工程中,自动物料搬送系统负责搬送、保管各工程间卡匣。此系统是由BUF、CRANE、OHCV、Cassette Storage、BUF控制器、MGV小车所构成。按照CIM的指示,自动搬送卡匣。

卡匣-CF

卡匣主要用于6代线彩色滤光片的玻璃收纳与排出。

(1)基本规格

基板尺寸: 1500WX1900HX0.5  ~0.7t(mm)    
卡匣尺寸: 1664WX1878DX12  80H(mm)    
卡匣重量: 279kg(Empty)、575kg(Full)    
Glass Passline: 1550mm        
洁净度: Class100(0.3μm 搬运基板的面)    
噪音: 85 Db以下        
卡匣提供精度(STK⇒Changer): ±5mm以下      
绝缘电阻: 1MΩ以上(dc500V)    
绝缘耐压: AC1500V(1分种)    
控制部分: PLC        
使用温度、湿度: 0~40℃、30~90%(无结露)    
保存温度、湿度: -30~70℃、10~95%(无结露)

(2)LIFTER部分

行程: 1500mm        
最大速度: 75mm/sec        
升降部最大可搬运重量: 1800kg       
升降部重复定位精度: ±0.25mm
驱动电机: 伺服电机 同步控制   
驱动传递方式: 滚珠丝杆&ROLEER 

(3)卡匣基台部分

Clamp驱动方式: Natural Clamp
检出卡匣在库: 1Port里设置1个(反射型光学Sensor)  
检出卡匣反放:有(反射型光学Sensor)   
确定卡匣位置的方式
确定卡匣位置的精度:同一Cassette±0.2mm以下
卡匣输出输入的精度 :±5mm以下      
浮动台单元数:6 Ppcs

(4)转换搬运传输

传输速度:Basic:25m/min,Max:30m/min 
传输部基板 重复定位精度:同一基板 ±1mm  
驱动电机:感应异步电机40W     
驱动传达方式:磁传动方式       
基板停止方式:根据基板检出SENSOR,非接触Sopper 
传输滚轮材质:UPE 导电方式(黑色)
滚轮节距:约100mm以下