南京熊猫电子装备有限公司
Nanjing PANDA Electronics Equipment Co.,Ltd

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本系统应用于TFT-LCD液晶面板洁净厂房中卡匣的搬运。有两种类型:

A型,包含走行和将卡匣顶升并旋转180度动作的装置;

B型,只含走行和将卡匣顶升动作的装置。

技术指标

存放玻璃基尺寸 1500 mm(W)×1850 mmL)×0.5-.7mm(t)
操作卡匣尺寸 1590 mm(W)×1960 mm(L)×1783mm(H)
无尘度 100级
最大载重量 600kg
走行速度 30m/min(最大)
走行加速度 0.29m/s2
升降运行速度 3m/min(最大)
升降加速度 0.29m/s2
旋转速度 5s(90度)
旋转精确度 ±2mm以内
停止精确度 ±3mm以内
功率 1.1kW
伺服轴数 3轴(A型) 2轴(B型)

本系统应用于TFT-LCD液晶面板洁净厂房中玻璃基板的运输。工作过程是采用机器人将卡匣内的玻璃基板搬运出,送入相关生产设备,再将加工好的玻璃基板装入相应的卡匣。

技术指标

玻璃基板尺寸 1500 mm(W)×1850 mmL)×0.5-.7mm(t)

存取玻璃基板周期时间

40s
无尘度 100级
机器人RR轴动作范围 -1615mm~+1600mm
RL轴动作范围 -1615mm~+1600mm
Z轴动作范围 2600mm,3000mm(根据不同状况)
θ轴动作范围 -140~+185°
走行轴动作范围 无、700、1700等根据现场需要。
RR轴最大速度 1.92 rad/sec
RL轴 1.92 rad/sec
Z轴 900mm/sec(2600mm规格) 1000mm/sec (1000mm规格)
θ轴 2.09 rad/sec
走行轴 2000 mm/sec
手臂负荷容许值 400N•m(1 arm)
重复定位精度 ±1mm以内
最大可搬送重量 50kg/arm
功  率 AC200~230V±10V  3相 50/60Hz 27kVA(最大) (无走行)
AC200~230V±10V  3相 50/60Hz 36kVA(最大) (有走行)
DC24V  2A  (控制部分)
供气 -70kPa  50Nl/min
绝缘电阻 20MΩand over (DC500V)
绝缘电压 AC 1500V(1min)

A.玻璃板传输线:

使用无轴承式传送机设备来架构玻璃基板搬送工艺。使用此齿轮传动方式驱动滚轮,实现非接触传动。与传统的皮带输送式相比,动力消耗减至最低,提高洁净度。
扭距传达部位的放大照片运用灰色部分的磁铁,非接触式驱动滚筒。

直联传送带
电源:AC220V
马达功率:40W
滚筒间隔:100mm
速度控制:变频器调速
设备尺寸:1500W×1850L

旋转平台
电源:AC220V
马达功率:40W
滚筒间隔:100mm
速度:0.9~30m/min
旋转速度:2.5秒/90度

交叉式传送带
电源:AC220V
马达功率:40W
滚筒间隔:100mm
速度:0.9-30m/min

浮起装置:气缸定位装置 供给下游工程前,进行校正定位的装置,设置在玻璃基板的侧面两旁,校正玻璃基板的位置。

升降销
待机时,升降销在下降的状态。
当流片过来时,升降销将上升支撑起玻璃基板。
升降销的头部装有树脂。

B.玻璃基板上载机构

用于玻璃基板传输线中通过卡匣收取或移出玻璃基板

技术指标

轴长 Z 轴:1700mm
最快速度 Z 轴:100 mm/s
传输速度:400mm/s
最大负载:600kg
重复精度:±0.2mm
洁净度:10 级(0.3 um)
噪声:80 dB 以下
绝缘电阻:1MΩand over (DC500V)
绝缘电压:AC1500V (1min)
操作玻璃基板尺寸:1500 mm(W)×1850 mm(L)×0.5-0.7mm(t)
对应卡匣尺寸:1670 mm(W)×1876 mm(L)×1310mm(H)
重量:600kg

C.全自动旋转定位系统:

在玻璃基板传输线中用于配合玻璃基板换向,顶升并作旋转90度或180度的装置。

技术指标

操作玻璃基板尺寸:1500 mm(W)×1850 mm(L)×0.5-0.7mm(t)
对准方式:机械接触式,定边对准,定位精度 X-Y±0.2mm以下
水平回转结构:伺服马达
传动线: 1250 mm±10mm
动作时间:玻璃基板接收5s;水平回转5s;玻璃基板输出5s;复位5s

D.全自动翻板系统:

将玻璃基板等进行翻转操作,使得制造好的TFT玻璃基板和CF玻璃基板通过MARK对中并贴合的装置。该装置是TFT玻璃基板生产线和CF玻璃基板生产线的合拢部分的重要装置。

技术指标

操作玻璃基板尺寸:1500 mm(W)×1850 mm(L)×0.5-0.7mm(t)
对准方式:机械接触式,定边对准,定位精度 X-Y±0.2mm以下
定位精度:X-Y±0.2mm以下
翻转构造:伺服马达
传动线: 上层1225 mm 下层1175 mm
动作时间:玻璃基板接收5s;对位2s;玻璃基板吸附3s;
翻转8s;玻璃基板输出5s;复位8s
配置浮动吸盘、除静电装置。

E.全自动包装解包系统(Pack/Unpack):

Unpack装置是整个玻璃基板生产线的开始部分,通过机器人将玻璃基板进行解包,自动送入玻璃基板生产线,清洗后开始进行TFT-LCD加工的设备。在此过程中通过另一台机器人将玻璃基板的包装纸取出。Pack装置是整个玻璃基板生产线的结束部分, 通过机器人将加工好的TFT-LCD玻璃基板成品捆包自动送出整个生产线。

技术指标:
操作玻璃基板尺寸1500 mm(W)×1850 mm(L)×0.5-0.7mm(t)
动作周期:35s/块
机器人型号:ABB IRB6640
送纸机器人:ABB IRB2400

用于TFT-LCD液晶面板洁净厂房中存放玻璃基板的装置。一般分四种类型:鱼骨型、发泡型、线型、销型。

通用技术指标

通用技术指标:
1、对应的基板尺寸:1800mm×1500mm;
2、鱼骨、销、发泡型卡匣内部的形状都要与机器人叉臂的形状匹配;
3、指定的ID 传感器要安装到指定的位置,并保证物理定位的精度要求;
4、卡匣内部存储使用环境不可发尘,达到100级净化等级;
5、当玻璃基板T≤150℃时,无痕迹存储;

各类型的技术指标

鱼骨型:

1、卡匣尺寸:1640mmx1890mmx1900mm
2、层距:67mm
3、层数:25层
4、使用机器人对基板进行移入和移出
5、对应机器人专用叉臂

线型:

1、卡匣尺寸:1770mmx191mmx1707mm
2、收纳层数:45层
3、卡匣重量:310kg以内
4、卡匣底面弯曲:最大2mm(相对于叉臂)
5、基板收容方向:水平
6、材质:不锈钢、铝
7、底面平面度:1mm

销型:

1、卡匣尺寸:1650mmx1654mmxh(用户指定)
2、层距:86.5mm
3、层数:用户指定
4、使用机器人对基板进行移入和移出
5、对应机器人专用叉臂

发泡型:

1、卡匣尺寸:1650mmx1850mmx1668.3mm
2、层距:105mm
3、层数:15
4、使用机器人对基板进行移入和移出
5、对应机器人专用叉臂

用于TFT-LCD液晶面板洁净厂房的卡匣及玻璃基板的清洗。
分三种类型:卡匣清洗机、分断后清洗机、面取后清洗机。

技术指标

对应基板 面板尺寸15英寸~65英寸

宽度

226~841.6mm 长度:358~1467.5mm 厚度:1.0~1.4mm
外形尺寸 设置布局 L:11,001mm W:3,630mm H:2,000mm 
节拍 12sec/sheet(17”)
15sec/sheet(20”, 26”)
15sec/sheet(32”)
17sec/sheet(37”) 
45sec/sheet(65”)
精度 1、Load侧接收基板;精度±5mm以内(宽幅方向)
2、Unload侧基板转递:精度±3mm以内(宽幅方向)