南京熊猫电子装备有限公司
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CF设备主要用于6代线彩色滤光片基板的搬运。结构设计精确,技术先进,设备配置精细,可靠性高,控制系统具有精度高,可靠性好和快速反应的特点。主要包含自动物料搬运系统、卡匣、机器人和传送带系统。

自动物料搬运系统(AMHS)-CF

设备描述:
在CF工程中,自动物料搬送系统负责搬送、保管各工程间卡匣。此系统是由BUF、CRANE、OHCV、Cassette Storage、BUF控制器、MGV小车所构成。按照CIM的指示,自动搬送卡匣。

卡匣-CF

设卡匣主要用于6代线彩色滤光片的玻璃收纳与排出。

(1)基本规格
基板尺寸: 1500WX1900HX0.5  ~0.7t(mm)
卡匣尺寸: 1664WX1878DX12  80H(mm)
卡匣重量: 279kg(Empty)、575kg(Full)
Glass Passline: 1550mm
洁净度: Class100(0.3μm 搬运基板的面)
噪音: 85 Db以下
卡匣提供精度(STK⇒Changer): ±5mm以下
绝缘电阻: 1MΩ以上(dc500V)
绝缘耐压: AC1500V(1分种)
控制部分: PLC
使用温度、湿度: 0~40℃、30~90%(无结露)
保存温度、湿度: -30~70℃、10~95%(无结露)

(2)LIFTER部分
行程: 1500mm
最大速度: 75mm/sec
升降部最大可搬运重量: 1800kg
升降部重复定位精度: ±0.25mm
驱动电机: 伺服电机 同步控制
驱动传递方式: 滚珠丝杆&ROLEER 
(3)卡匣基台部分
Clamp驱动方式: Natural Clamp
检出卡匣在库: 1Port里设置1个(反射型光学Sensor)  
检出卡匣反放:有(反射型光学Sensor)   
确定卡匣位置的方式
确定卡匣位置的精度:同一Cassette±0.2mm以下
卡匣输出输入的精度 :±5mm以下      
浮动台单元数:6 Ppcs

(4)转换搬运传输
传输速度:Basic:25m/min,Max:30m/min 
传输部基板 重复定位精度:同一基板 ±1mm  
驱动电机:感应异步电机40W     
驱动传达方式:磁传动方式       
基板停止方式:根据基板检出SENSOR,非接触Sopper 
传输滚轮材质:UPE 导电方式(黑色)
滚轮节距:约100mm以下

是将玻璃基板从卡匣到生产设备或者从生产设备到卡匣进行搬运的系统。

传输机器人(C/V Robot)

(1)基本规格
基板尺寸:1500WX1900HX0.5~0.7t(mm)    
电源:单相200V 9kVA(额定)、27KVA(瞬时最大)  
CDA:0.5Mpa±0.05  平均20Nl/min,330Nl/min (最大) 
洁净度:Class100(0.3μm 搬运基板的面) 
噪音:85 Db以下     
绝缘电阻:1MΩ以上(dc500V)
绝缘耐压:AC1500V(1分钟)  
控制器:SC5000-HP     
使用温度、湿度:0~40℃、30~90%(无结露)
保存温度、湿度:-30~70℃、10~95%(无结露)

(2)主体规格
最大速度          
X-轴:2000mm/s    
Z-轴:250mm/s    
TH-轴:2.18rad/s    
R-轴:400mm/s    
动作范围          
X-轴:另外说明    
Z-轴:500mm    
TH-轴:-140°~+185°  
R-轴:-350mm ~ +350mm  
离子风机       
(3)传输(Conveyor)
传输速度:Basic:25m/min,Max:30m/min 
传输长度
传输部基板 重复定位精度:同一基板 ±1mm  
驱动电机:感应异步电机40W    
驱动传达方式:磁传动方式      
基板停止方式:根据基板检出SENSOR,非接触Sopper 
传输滚轮材质:UPE 导电方式(黑色)  
滚轮节距:约100mm以下    
定位部分
驱动:气缸        
定位精度:±0.2mm(同一基板重复精度) 
定位范围:±5mm        
基板接触部材质:PEEK   

搬运机器人

机器人重量 总重 2940 Kg
电源   Rated 12 KVA
Max.Peak 36 KVA
基板尺寸 宽(W) 1500 mm
长(L) 1800 mm
厚度(t) 0.5~0.7 mm
工作范围 RR/RL轴 -1615~+1600 mm
Z轴 2600 mm
TH轴 -95~+275 deg
TRAVERSE轴 4700 mm
最大速度 RR/RL轴 1.92 rad/s
Z轴 900 mm/s
TH轴 1.57 rad/s
TRAVERSE轴 1500 mm/s
        最大负荷 50 kg/ARM
      重复定位精度 ±0.2 mm
 MAX.moment at the end effector
mounting section
50 Nm/ARM

控制器规格

控制轴数  最大8轴
同时控制轴数  最大8轴
控制方法  所有轴都由软件伺服位置进行定位
存储记忆  闪存、备用电池存储
程序设计  用示数器进行编程(在电脑上不在线也有可能操作)
程序语言  SSL/E
示数  通过示数器(选择)进行示数和数值输入(MDI)
   
通信功能  RS232C/R5422/RS485  115200bpsMax
   本体内切换。Default RS232
   ADS      RS232C
   Pendant    RS485
   EtherNet  100BaseTX/10BaseT  TCP/IP
I/O接口  I/O接头1:输入16Bit  24Vopt isolation 输出16Bit    24Vopt isolation
 I/O接头1:输入16Bit  24Vopt isolation 输出16Bit    24Vopt isolation